class100高溫潔凈烘箱,程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器,內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運行方式:定值、程式,中、英文操作。
充氮恒溫熱板,氮氣高溫加熱臺應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、掩膜版烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
雙門氮氣烘箱定制,可充氮熱風循環(huán)烘箱箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;內(nèi)室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼;
真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規(guī)定的時間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規(guī)定的時間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時間;隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)(水冷和風冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。