氮?dú)饪鞠?,充氮潔凈烤箱用于IC封裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板、高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
氮?dú)饪鞠?,充氮潔凈烤?/strong>概述:
充氮潔凈烤箱在工作時(shí),工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
氮?dú)饪鞠?,充氮潔凈烤?/strong>技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào):氮?dú)饪鞠?/p>
2.氮?dú)饪鞠?span style="font-size:14pt">主要技術(shù)指標(biāo):
2.1含氧量:<500/100/50ppm;
2.2溫度范圍:RT(室溫)+10~200/300℃;
2.3溫度均勻度:±1℃;(空載)
2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動(dòng)形式。
2.7工作尺寸:自定義
2.8烤箱裝有進(jìn)氮?dú)饪?/span>,配有玻璃流量轉(zhuǎn)子器
結(jié)構(gòu):
烤箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
無塵無氧烤箱,PI無塵固化烤箱
無塵無氧烤箱,PI無塵固化烤箱概述
應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
二.無塵無氧烤箱,PI無塵固化烤箱技術(shù)參數(shù)
1.主要技術(shù)指標(biāo)
Ø 材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼,內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼
Ø 溫度范圍:RT+10-200、400℃
Ø 溫度分辨率:0.1℃
Ø 溫度波動(dòng)度:<±1℃
Ø 溫度均勻度:≤±2%
Ø 潔凈度:class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
Ø 氧含量
高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
Ø 數(shù)據(jù)輸出:溫度和氧含量無紙記錄儀
2.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
Ø 熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng):采用覆套式電熱器)無塵無氧化電熱發(fā)生器
Ø 氣體系統(tǒng):HEPA過濾效果可達(dá)99.99%,Class100箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀
Ø 水冷系統(tǒng):翅片式水冷散熱器,冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量,使得箱內(nèi)溫度快速下降
Ø 溫控系統(tǒng):采用中能溫度控制器,內(nèi)置斜率設(shè)定、PID自整定
Ø 軟件系統(tǒng):控制系統(tǒng)采用高速型邏輯控制器,可與現(xiàn)場(chǎng)總線聯(lián)機(jī)遠(yuǎn)程操控
3. 安全保護(hù)性能
1)短路保護(hù)
2)漏電保護(hù)
3)超溫保護(hù),獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器
4)電機(jī)保護(hù),電機(jī)過電流、水冷保護(hù)
5)電磁門禁保護(hù),當(dāng)溫度超過100℃,電子鎖自動(dòng)鎖緊,防止高溫開門