程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制,可設(shè)定定值運行、程序(曲線)運行自由切換,并有自動恒溫及時間控制,并附設(shè)有超溫自動停止加熱及報警電路,控制可靠,使用安全。
程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱說明
可程式潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無塵材料,箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制,可設(shè)定定值運行、程序(曲線)運行自由切換,并有自動恒溫及時間控制,并附設(shè)有超溫自動停止加熱及報警電路,控制可靠,使用安全。
程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱技術(shù)指標:
2.1溫度范圍: RT(室溫)+15~200/300/400/500/600℃;
2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;
2.3升溫速度: 0-15℃/min;
2.4熱風循環(huán)方式:水平送風
2.5工作尺寸:
D350×W350×H350mm
D500×W500×H500mm
D500×W600×H700mm
D600×W600×H800mm
D1000×W1000×H1000mm
D1200×W1400×H1200mm
......
多尺寸定制
2.6箱體數(shù):1.2.3.4.6.8
2.7 運行方式:定值、程式
3、箱體結(jié)構(gòu):
3.1箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆或不銹鋼;
3.2內(nèi)室材料:采用SUS304#、316L無磁性鏡面不銹鋼;
3.3保溫材料:超細陶瓷纖維;
3.4排 氣 口:ф50,位于箱體側(cè)方;
3.5 隔 板:2層,不銹鋼板沖孔,承重約30KG;
3.6空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機;
3.7加熱方式:不銹鋼電加熱器;
程控式氮氣潔凈烤箱用途
氮氣潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料烘烤、涂膠后堅膜烘烤,治具烘烤等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、固化、熱處理、老化試驗,可靠性試驗等其他高溫試驗。
選配功能:
潔凈度:百級(class100)無塵
氧濃度:20ppm,可監(jiān)測
降溫功能:風冷、水冷
智能軟件:MES,GEM等工業(yè)4.0智能工控