晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百級(jí)烤箱定制技術(shù)指標(biāo)

無(wú)塵等級(jí)：Class 100;     

溫度范圍：RT+10～250、450℃；
 溫度均勻度：≤±1.5%;    

溫度波動(dòng)度：±0.5℃；        
 溫控精度：±0.1℃;

工作室尺寸：自定義；      

高效空氣過(guò)濾器(HEPA)

特點(diǎn)：效率高、阻力低、容塵量大；

外框材質(zhì)：不銹鋼;

濾料：超細(xì)玻璃纖維濾紙;

隔板：鋁箔;

過(guò)濾效率：≥99.99%;

   顯示直觀，操作簡(jiǎn)單

晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百級(jí)烤箱定制的操作：

1、4.3吋彩色觸摸屏；

2、兩種控制方式：定值/程式；

3、傳感器類型：PT100；

4、報(bào)警信號(hào)：16條報(bào)警輸入（DI），可編輯名稱；

5、溫度測(cè)量范圍：-20.00℃-400.00℃（可定制）誤差±0.3℃；

6、界面語(yǔ)言類型：中文/英文；

7、通訊接口：（RS232/RS485，通訊最長(zhǎng)距離1.2km[光纖可達(dá)30km])，可連接打印機(jī)打印溫濕度曲線監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)；

8、程式編輯：可編120組程式，每組程式最大為100段；