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智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)

智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開(kāi))延長(zhǎng)了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無(wú)油的真空條件??蛇x的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會(huì)額外增加泵的高度。

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智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)
智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)

智能型HMDS涂膠機(jī),自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

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HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置

HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)
HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)

HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)
光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)

光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。

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抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)
抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)

抗粘劑蒸鍍機(jī),抗粘層鍍膜機(jī)在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。

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