晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱概述

晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強度、保溫、循環(huán)風道等均設計精良，且外形美觀、操作方便?？諝庋h(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關(guān)動作引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作狀態(tài)溫度值。

用途

精密循環(huán)烤箱適用于烘烤有化學性氣體欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應力、老化、烘干、定型、加工等。

參數(shù)   

Ø  內(nèi)置強制送風循環(huán)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部， 且將使用后熱風吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，由此減小能量損耗并保證箱內(nèi)的溫度均勻性，當門 開、關(guān)動作 引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作狀態(tài)溫度值，配置可調(diào)進出氣口，風路循環(huán)順暢，換氣快，避免可燃氣體的濃度過高造成自燃爆炸。   

Ø  馬達為中國臺灣進口長軸耐高溫型                         

Ø  超高溫保護：當箱內(nèi)溫升異常時，自動切斷整機電源。           

Ø  瓷質(zhì)保險絲。           

Ø  馬達過熱保護：防止電機過熱造成電機損傷，           

Ø  相序保護：防止電力缺相和相序錯誤，保證電機的安全。         

Ø  計時器，蜂鳴器提示，保證工作時間的準確。