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真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。
真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱簡(jiǎn)介：
真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮?dú)獬淙肟鞠鋬?nèi)部，從而置換腔內(nèi)空氣降低氧濃度，來(lái)防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現(xiàn)象?？鞠涑槿≌婵蘸?，充入氮?dú)?，再抽取真空，多次循環(huán)后可以確?？鞠涞墓ぷ魇姨幱跓o(wú)氧的狀態(tài)，避免活性較強(qiáng)的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。
無(wú)氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱技術(shù)指標(biāo)：
工作室尺寸（mm） | 450×450×450，600×600×600，可定制 |
箱體材質(zhì) | 內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-300/400/500℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動(dòng)度 | ≤±1℃ |
升溫速率 | ≤5℃/min |
降溫速率 | 特殊要求數(shù)據(jù) |
真空度 | ≤133pa或要求數(shù)據(jù) |
電源 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
控制儀表 | 人機(jī)界面，可校準(zhǔn)溫度控制器，PID自整定等功能 |
擱板層數(shù) | 不銹鋼托盤(pán)2層或多層 |
真空泵 | 油泵/干泵自選 |
腔門(mén)密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
狀態(tài)指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來(lái)提示機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀態(tài) |
氧含量 | 20PPM，可檢測(cè)，實(shí)時(shí)顯示 |
潔凈度 | Class100、1000級(jí) |
降溫系統(tǒng) | 風(fēng)冷+水冷 |
氮?dú)饪刂?/span> | 可程序自動(dòng)控制 |
安全保護(hù)裝置 | 安全的接地保護(hù)裝置，超溫保護(hù)及報(bào)警裝置，漏電保護(hù)裝置 |
上海雋思儀器 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)烘烤制程設(shè)備定做服務(wù)，無(wú)氧烤箱，真空無(wú)氧化烤箱，無(wú)氧真空烘箱，無(wú)塵烤箱，無(wú)塵無(wú)氧烤箱，真空無(wú)氧固化烤箱，PI烤箱，潔凈烘箱，氮?dú)饪鞠?，隧道烘爐，HMDS真空烤箱等。
